长/短寸量测设备

SOM200

SCD200

长/短寸量测设备主要应用于显示制造中的TFT、CF、TPOT、COE等工艺制程的TP （Total Pitch）、CS（Center Shift）、CD（Critical Dimension）和OL (Overlay)量测，该系列设备可支持各世代基板的量测。
SOM200系列为长寸量测设备，又称为基板变形检测设备或精密测长机，主要应用于长寸TP和CS量测，兼容短寸CD和OL量测。
SCD200系列为关键尺寸量测设备，主要应用于短寸CD和OL的量测。